摘要：非接触式纳米精度位移测量在科研和工业生产中有重要应用价值。本文阐述了一种基于激光聚焦偏移原理测量微小位移的方法,首先分析了此方法的测量精度、误差及在所选光学元器件下的量程,进而描述了实验装置,并利用该装置对一个平面反射镜的微小位移进行了测量,结果显示位移测量精度优于10 nm（1σ）,与理论计算的结果吻合。实验结果表明,该方法对测量微小位移可达nm精度,可应用于工业生产中对主轴振动、轴承球圆度等的在线精密测量。

关键词：微小位移 激光聚焦偏移 空间滤波 测量精度 长期稳定性 

单位：浙江工业大学超精密加工研究中心 浙江310014 绍兴职业技术学院 浙江312000 无锡迈福光学科技有限公司 江苏204200