摘要：高精度标定力的产生是微推力高精度测量的关键之一。电磁力具有非接触、结构简单、容易控制等优势，成为微推力测量系统有效的标定力产生方法。针对微推力测量对于电磁标定力的性能要求，研究了磁铁与线圈之间相对位置变化对电磁力大小的影响关系，通过仿真计算得到了轴向距离、径向偏差、相对倾角变化下的电磁力输出特性：相对倾角、径向偏差不为0时，电磁力均会变大，且关于磁铁中心轴线具有对称性，沿轴向距离，电磁力先增大后减小。基于天平称重法，设计了可三维调节的电磁力测量装置，提出了轴向距离、径向偏差、相对倾角的归零调节方法；获得了电磁力较为完备的力学特性，通过分段拟合方法，解决了在较小标定力时相对误差较大的问题，确定了电磁力及电流的控制关系及相对位置变化范围；提出了不敏感角、不敏感径向偏差、不敏感轴向距离区间等新概念，为电磁力产生装置的性能表征提供了具体参数。

关键词：电磁力 微推力测量 标定 误差 

单位：装备学院激光推进及其应用国家重点实验室; 北京101416