摘要：随着微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加，给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战。微纳几何量计量技术主要是研究微纳尺度下测量量值的准确一致，并实现量值溯源到国际长度基本单位的科学。为保证微纳技术的领先优势，国外先进国家一直高度重视微纳几何量计量技术的研究。目前，我国在微纳计量领域已成功研制了多种微纳几何量计量标准装置，并初步建立了我国自己的微纳计量溯源体系。对我国现有的微纳几何量计量技术与计量标准装置进行了回顾和介绍，并对我国微纳计量的未来发展做出了展望。

关键词：微纳几何量 关键尺寸 量值准确 溯源 标准装置 

单位：中国计量科学研究院; 北京100029