摘要：为了解决激光聚变靶丸表面形貌高精度测量与评定的难题，提出一种激光差动共焦靶丸球度测量与评定方法，该方法利用激光差动共焦测量系统的轴向响应曲线的过零点与其物镜焦点位置相对应这一特性实现对靶丸表面的定焦，通过将靶丸在两个正交的方向上分别旋转，测量并获取靶丸表面的数个截面，实现靶丸表面全形貌测量，利用最小区域球度评定算法，建立靶丸球度评定的三维模型，对靶丸表面形貌进行定量评定。搭建实验装置对靶丸表面进行采样测量，评定结果显示，该方法的测量重复性为0．15μm，为靶丸表面形貌测量与评定提供了一种可行方案。

关键词：差动共焦 激光聚变靶丸 最小区域评定 球度评定 

单位：北京理工大学光学测量研究中心; 北京100081