摘要：针对现有的柔性电容式压力传感器精度低、重复性差、大面积应用难度大等缺点,设计了一种柔性电容式压力传感器,可用于生理信息监测或机器人皮肤等领域。该传感器结构基于交叉电极式电容阵列,材料及制备工艺简单,易于大面积扩展应用,可对接触状态进行定量反馈。实验表明,该传感器能够感知0~70 k Pa范围的压强,可清晰分辨人手、脚等接触压力信息;电容灵敏度约1.17%V/k Pa;响应速度可达30 f/s,可实现压力信息的实时图形化显示。

关键词：柔性电容式压力传感器 电容阵列 信号处理 压力图形化 

单位：河北工业大学机械工程学院; 天津300130; 省部共建电工装备可靠性与智能化国家重点实验室; 天津300132; 河北省机器人感知与人机融合重点实验室; 天津300132