摘要：配合间隙是决定球型惯性器件精度和可靠性的关键参数之一,针对球型惯性器球面元件表面有缺口且未完全抛光导致曲率半径难以精确测量,进而难以准确控制球碗、球冠配合间隙瓶颈问题,提出了一种球面惯性元件配合间隙激光差动共焦高精度方法。该方法利用抗散射的激光差动共焦曲率半径测量方法分别对球碗、球冠的曲率半径进行测量,然后利用差动共焦曲率半径测量系统测得的球碗和球冠的半径差来控制球型惯性器球面的配合间隙。理论分析与实验验证表明:该方法测量球冠和球碗配合间隙的相对扩展不确定度优于20×10^-6,其为惯性器件球冠和球碗配合间隙的高精度测量与控制提供了一种全新的技术手段。

关键词：光学测量 球型惯性元件 抗散射 配合间隙 

单位：北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室; 北京100081; 北京航天控制仪器研究所; 北京100854