摘要：简要介绍了位置敏感传感器(position sensitive detector,简称PSD)的基本原理和特点.以PSD作为检测部件,基于机械振动理论、控制理论和光电位移检测技术,提出了一种双层主动隔振系统,建立了系统数学模型并给出了仿真结果.研究表明,PSD的引入有效避免了传统加速度传感器所带来的积分问题,提高了系统实时性,从而大大提高了隔振率.

关键词：主动隔振系统 psd 位置敏感传感器 应用 机械振动理论 

单位：西安电子科技大学机电工程学院; 西安; 710071