首页 > 期刊 > 自动化仪表 > 多参量MEMS气体质量流量计 【正文】
摘要:介绍了多参量MEMS气体质量流量计的原理、性能和应用。该流量计采用MEMS流量芯片作为一次传感的核心部件.并配以专门的低功耗二次智能仪表,具有超大量程、微功耗、无压损、小流量灵敏、响应时间快及易于远传和网络化管理等优点,相信该流量计会有很广阔的应用前景。
关键词:多参量 低功耗 智能仪表
单位:美国矽翔微机电系统有限公司; 上海200233
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