摘要：为了实现对激光器发射激光光束质量的自动化测量,提出了一种激光光束质量M2因子测量系统。该系统选择混合式步进电机作为执行机构来确定多个采样位置;同时系统采用面阵电荷耦合器件（CCD）多点探测激光光斑的图像信息,实时计算不同采样位置激光光斑的质心和光强,并根据M2因子理论计算出激光光束的束腰宽度和束散角等参数,最后由上位机显示激光光斑的二维/三维光强分布及处理结果。实验结果表明,系统能够对400～1 100 nm连续激光器发射激光光束质量进行自动化测量,测量精度达±6%,测量时间小于3 min。

关键词：曲线拟合 多点采样 质心 测量精度 图像采集 

单位：长春理工大学电子信息工程学院 吉林长春130022