摘要：在已研制成功的圆时栅的基础上，开展了比圆分度应用范围更广的直线式时栅传感器的研究。直线式时栅基于直线电机原理建立物理模型与数学模型，作为直线式时栅的理论基础和技术依据。提出了直线式时栅的机械结构型式，同时研究了增量式时栅的信号处理电路及软件系统。研究结果表明，该模块测量精度高于现有直线式传感器的中高档水平，具有较好的工艺性且成本低于现有中低档直线式传感器。

关键词：时栅 时间序列 位移传感器 测量精度 建模 

单位：重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心 重庆400054 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 安徽合肥230009