摘要：在研究压阻式微压力传感器的结构参数的基础上，根据传感器的灵敏度与线性度特点，设计了一种量程为200 kPa的微压力传感器。在满足计算要求的条件下，对该传感器的每一个参数进行ANSYS仿真；并根据灵敏度、线性度及制作工艺的难易程度选择这些参数的最佳值。仿真结果表明，该设计方法对微压力传感器的研制具有一定的参考价值。

关键词：微压力传感器 灵敏度 线性度 ansys仿真 可靠性 

单位：北方工业大学机电工程学院 北京100041