摘要：激光共焦测量采用并行的方式可以有效提高测量效率,但用于并行共焦测量的光分束器件普遍存在制作困难、价格偏高的不足.从数字微镜器件的空间光调制机理入手,主要研究数字微镜器的控制方法,通过构建任意所需的点光源阵列,实现了并行共焦测量.结果表明,测量装置可根据不同的被测物便捷地更换点光源参数；测量装置具有很好的柔性,且测量误差小.

关键词：并行共焦测量 测量效率 数字微镜器件 空间光调制 点光源阵列 

单位：华侨大学机电及自动化学院 福建厦门361021