摘要：针对低温等离子体发生器的相关研究试验,采用BUCK电压反馈全桥逆变升压拓扑,设计了一种可调高压直流电源。为实现电源输出对参考信号的快速跟踪,对电路各模块小信号进行建模,建立了系统环路增益传递函数,并使用Matlab分析原系统稳定性;采用双零-单极补偿器进行补偿,使用Saber对补偿后电路仿真,验证了补偿后电路的静态指标和动态特性。仿真结果表明,电源输出可渐近跟踪给定参考信号,动态特性好,实现了高压直流可调输出,可用于低温等离子体的试验研究。

关键词：低温等离子体 可调高压直流电源 传感器 buck 电路 

单位：同济大学电子与信息工程学院; 上海201804