摘要：低能气相腐蚀系统在微电子机械系统（MEMS）生产工艺中的应用非常广泛,但是该系统的设计和开发十分复杂.为了降低 系统设计的复杂度和生产成本,对低能气相腐蚀系统进行了基于可视化开发工具LabVIEW的建模和仿真.以XeF2腐蚀MEMS中的 无定形硅为例,对腐蚀速率、时间与腐蚀效果之间的关系进行了研究,重点分析和讨论了建模中需要解决的三个重要问题：循环控制 回路中交换腔气体压强的计算方法、恒定腐蚀速率下腐蚀气体压强的计算方法以及非晶硅牺牲材料表面积与时间的关系.根据对反 应趋势的计算结果进行仿真,表明在腐蚀一个微结构的过程中,腐蚀速率能够维持恒定.仿真结果验证了该方法可以快速模拟真实 的低能气相腐蚀环境,具有准确性和可行性,为后期系统的设计和开发提供了数据参考和技术指导.

关键词：mems 腐蚀系统 低能气相 腐蚀速率 labview 

单位：甘肃省科学院传感技术研究所甘肃省传感器与传感技术重点实验室; 甘肃兰州730000