摘要：测试方法和配气精度对传感器气敏性能测试至关重要。常见的气敏特性测试设备多采用静态测试方法,存在因配气精度低导致的测试不准确、数据波动大、气体选择性差等缺陷。针对这些问题,基于动态气体检测方法,设计了一种高精度气敏特性动态测试装置。介绍了装置的整体结构、基本原理和实现方法。装置选用高精度质量流量计,实现对气体质量流量的精确控制。特设的混气室两级掺混结构,避免了气流波动,可实现平稳掺混,混气效果均匀可靠。基于有限元分析方法,设计了气体传感器测试室,对其流体力学性能进行建模仿真。结果表明,该测试室结构简单、气阻小、气流稳定。通过试验,证实该测试装置解决了配气不准确、混气不均匀、测试数据波动等问题,可有效提高测试装置的性能和测试精度,非常适用于高性能气体传感器气敏特性研究,具有广阔的应用前景。

关键词：气敏特性 动态测试 测试装置 混合方法 混气室 

单位：甘肃省科学院传感技术研究所; 甘肃兰州730000