摘要：提出一种新型的定子主动箝位方式压电精密直线步进电机,解决了压电驱动电机箝位不牢固、步进频率较低、行程小、速度低等问题.研制的精密电机能够实现高频率(100Hz),高速度(30mm/min),大行程(＞20mm),高精度,大驱动力(100N)等特点,大幅度提高了压电型步进电机的驱动性能.研制的该步进电机在精密运动、微操作、光学工程、精密定位等精密工程中具有一定的应用价值.

关键词：直线步进电机 压电驱动 压电材料 定子箝位方式 压电叠堆 

单位：吉林大学压电驱动与控制技术研究中心; 吉林; 长春; 130025