摘要：超声波电机的输出特性与驱动频率呈非线性关系。同时在驱动频率切换期间，振动的初始状态对转速变化过程也会产生影响。行波超声波电机（traveling-wave ultrasonic motor,TUSM）动态过程与切换频率前后值的选取及频率变化方向有关。将TUSM频率阶跃响应过程近似线性化，利用系统辨识中的非参数建模方法，建立在特定切换频率条件下的二阶线性模型。在TUSM工作范围内，辨识若干组不同切换频率条件下的近似二阶线性模型，将这些模型的参数进行二维或三维拟合，得到了一个关于TUSM传递函数的多输入多输出模型。利用60mm行波超声波电机作为研究实例，实验与仿真结果表明，模型计算值与实测值接近，表明建模方法可行。

关键词：超声波电机 传递函数 系统辨识 动态模型 频率变化 

单位：东南大学电气工程学院江苏省伺服控制技术工程中心 江苏省南京市210096