摘要：构建了一种新型磁悬浮工作平台结构，该平台结构利用永磁直线电机提供水平洛仑兹力，利用电磁铁提供垂直电磁吸力，悬浮和驱动部分相互独立，避免了两者间的耦合问题，具有出力大、运动范围广、定位精密的特点。为了研究磁场饱和、纵向边端效应和倾斜角度等冈素对磁场的影响，基于有限元数值方法建立了该平台的数学模型，并在模型的基础上对该平台的力特性进行了详细分析，获得了推力和悬浮力与气隙高度、电流和倾斜角度间的变化对应关系。分析结果表明该平台的电磁力具有较好的线性度，降低了控制的复杂度。

关键词：磁悬浮 精密工作平台 有限元法 推力 悬浮力 

单位：浙江理工大学纳米测量技术实验室 浙江省杭州市310018