摘要：提出一个有效提取片上互连线频变电感参数的方法。该方法不需要把导体段进行细丝化离散，而是通过积分方程的离散，将求解三维准静态磁矢位的问题转化为多体问题，进而应用快速多极方法（fast multipole method，FMM）来提取片上互连电感参数。该方法能够更加准确的反映导体电流的不均匀分布，快速准确的计算出结构复杂的互连线电感参数。计算结果与基于电路模型法的Fasthenry进行比较，结果证明本文提出的FMM方法在整个频率范围内均可以得到很高的精度，且在可控的精度下，计算速度随着互连线数量的增多有显著提高。

关键词：快速多极方法 互连线 电感提取 多体问题 矢量磁位 

单位：西安交通大学电气工程学院 陕西省西安市710049