摘要：在行波超声波电机伺服控制中,电机需要低速运行和正反向转动。调压可以实现低转速控制,但通过单一调节驱动频率和电压不能改变定子行波的运动方向,因而电机转动方向无法改变。调节两相驱动信号相位差,在±π/间直接切换会造成在切换点转速的剧烈跳动。因此要想获得理想的伺服控制效果,采用驱动频率、电压（占空比）、相位差三种调节量分段调节,通过模糊控制算法,可以解决低转速控制和转速跳动问题。以直径60mm行波超声波电机为实例,通过转速、位置伺服跟踪控制对这种控制方法进行了实验验证。

关键词：超声波电机 伺服控制 多调节量 串级控制 轨迹跟踪 

单位：教育部伺服控制技术工程研究中心(东南大学) 江苏省南京市210096