A Precision Alignment Control Method of Linear Ultrasonic Motors Using the Normal Distribution Theory
ZHOU Liping SUN Zhijun ZHANG Quan GUO Yu
中国电机工程学报
2012年第27期
摘要：
关键词：直线超声电机 线形控制 分布理论 定位精度 正态
单位：Nanjing University of Aeronautics and Astronautics
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