摘要：为了充分利用直线超声电机响应快、分辨率高的特点，并实现电机的微步距控制，研究了激励信号对电机微步距输出特性的影响。首先，通过分析电机的瞬态特性，研究了电机单步距作动过程；其次，为了实现电机激励信号的精确控制，分析了双PWM拓扑结构超声电机驱动器的工作原理，并通过实验对驱动器关断控制进行了研究；最后，分别研究了激励信号周期数、激励电压峰峰值和激励时间间隔对电机微步距特性的影响。实验结果表明，当驱动器采用具有泄放回路的零相位关断时，能够实现激励信号的精确控制。当以激励电压作为参变量，激励时间间隔大于10ms时，电机微步距特性曲线具有较强的线性特性，有利于电机微步距控制；激励时间间隔小于3ms时，能够有效降低电机平均速度，实现低速控制。

关键词：直线超声电机 微步距 驱动器 激励信号 关断特性 

单位：机械结构力学及控制国家重点实验室(南京航空航天大学); 江苏省南京市210016