摘要:脉冲调制射频具有调制频率、占空比、输入功率等多种可调参数,可以较大范围地调节放电等离子体参数,因此其放电特性与传统交流或直流放电相比具有独特的特点。该文研究在大气压条件下13.56MHz射频电源系统激励的CO2/Ar气体放电光学特性,主要考察了不同调制参数以及气体组分对等离子体羽流、发射光谱强度以及电子激发温度的影响。研究结果表明,改变射频调制参数可以明显调控上述光学特性:增加输入功率、占空比,或者降低调制频率和CO2含量,可以增大等离子体羽流长度和电子激发温度;其光谱主要包含OH(A→X)、 N2(C→B)、 Ar(4p→4s)、 O(3p→3s)、C(1p-1s)、C2 swan谱带等,且均随着输入功率的增加和CO2含量的降低而明显增强。所做研究为射频放电等离子体技术提升CO2资源化利用效率提供更多的选择。
关键词:大气压射频放电 调制频率 占空比 光谱强度 电子激发温度
单位:电力电子与电气驱动重点实验室(中国科学院电工研究所); 北京市海淀区100190; 中国科学院大学; 北京市石景山区100049; 中国科学院洁净能源创新研究院; 辽宁省大连市116023
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社