摘要：采用钨丝做掩模，进行倾斜的离子注入优化电流限制区，制作出室温连续的垂直腔面发射激光器件。该器件的最低阈值电流为1．4mA，串联电阻约207Ω，输出光功率超过1mW。

关键词：激光技术 钨丝掩模 离子注入 垂直腔面发射激光器 

单位：吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室; 吉林长春130023; 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室; 北京100083