摘要：报道了氟化氘(DF)激光器腔镜的膜系设计、材料选取、制备工艺及其损伤阈值和热畸变测试结果。实验结果表明，镜面在21kW／cm^2功率密度下的热畸变为0．32左右(λ=632．8nm)，腔镜的损伤阈值大于40kW／cm^2。

关键词：激光技术 df激光器 薄膜 高反射率 高损伤阈值 

单位：四川大学电子信息学院; 四川成都610064; 中国科学院光电技术研究所; 四川双流610209