摘要：应用高能量单脉冲激光作用在锆钛酸铅(PZT)压电薄膜上，研究脉冲激光的热冲击对PZT薄膜性能产生的影响。发现在激光未烧熔薄膜的能量密度下，经过激光作用后，PZT薄膜的铁电性能发生变化；在外加电压为6V时，剩余极化强度值Pr从32．699pC／cm^2变到26．316μC／cm^2；矫顽电场保持为38．396kV／cm不变；疲劳性能变稳定，在循环1．75×10^9次时Pr衰变率由44．3％变为34．7％。最后讨论分析了产生这种现象的微观机理。

关键词：薄膜物理学 压电薄膜 脉冲激光 热冲击 剩余极化强度 

单位：湘潭大学材料与光电物理学院; 湖南湘潭411105