摘要：提出了一种新的实时微振动激光干涉测量仪。通过采用复合光源和反馈系统，有效地消除了激光二极管-正弦相位调制(LD-SPM)干涉仪中由电流调制所带来的测量误差和外界干扰所带来的影响，实现了物体微振动的纳米精度实时测量。

关键词：实时测量 微振动干涉测量仪 复合光源 激光干涉测量仪 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室; 上海201800