摘要：将点匹配法扩展应用于脊形结构LiNbO3光波导调制器电极的准静态分析中。将调制器各区域的势函数表示为该区域中满足Laplace方程的一系列基函数的级数，匹配边界上有限个点的边界条件以确定出级数项的系数。通过势函数得到脊形结构LiNbO3光波导调制器结构中电场分布的解析表达式，利用求得的电场可以得到调制器特性阻抗及有效折射率。所得的特性阻抗和有效折射率与采用有限元法得到的结果十分吻合。这一分析方法简便快捷，精度高，能够处理电极有一定厚度的多层光波导调制器结构。

关键词：光纤通信 扩展点匹配法 光波导调制器 准静态分析 linbo3 

单位：中国科学院半导体所集成光电国家重点实验室; 北京100083; 香港城市大学电子工程系; 香港