摘要：高功率激光二极管列阵广泛应用于抽运固体激光器。报道了17kw GaAs／AlGaAs叠层激光二极管列阵的设计、制作过程和测试结果。为了提高器件的输出功率，一方面采用宽波导量子阱外延结构，降低腔面光功率密度，提高单个激光条的输出功率，通过金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法进行材料生长，经过光刻、金属化、镀膜等工艺制备1cm激光条，填充密度为80％，单个激光条输出功率达100w以上；另一方面器件采用高密度叠层封装结构，提高器件的总输出功率，实现了160个激光条叠层封装，条间距0．5mm。经测试，器件输出功率达17kw，峰值波长为807．6nm。谱线宽度为4．9nm。

关键词：激光技术 激光二极管列阵 叠层 

单位：中国科学院半导体研究所国家光电子器件工程研究中心; 北京100083