摘要：报道了在热扩散条件下两步离子交换玻璃光波导功分器的理论分析、样品制作和实验测试。为了便于定量分析，采用了一种上升反正弦S型分支光波导系统的物理模型，得到了在热扩散条件下两步离子交换光功分器波导区的归一化折射率分布和在不同交换时间所形成的玻璃波导折射率分布。在此基础上，设计和制作出第一步采用含T1纯熔盐Tl2SO4与玻璃含Na进行离子交换形成表面下半圆形波导，再把该波导表面脱钛膜放人含Na熔盐NaNO3中进行第二步离子交换形成掩埋式圆形波导光功分器，实现插入损耗为0．15dB和分光比为50：50的上升反正弦S型玻璃光波导功分器。

关键词：导波光学 离子交换 光功分器 玻璃波导 低损耗 

单位：西南师范大学光电所; 重庆400715; 苏州大学理学院物理系; 江苏苏州215006