摘要：研究了高气压短脉宽XeCl准分子激光器的设计、制作和激光参数测试。在大体积高气压下，采用同步紫外预电离产生辉光放电方法，结合激光器物理设计、电路、光学系统设计．调整气体配比、气压、放电电压，在气体配比为HCl：Xe：He=0．1％：1％：98．9％下，实现了纳秒放电激励的紫外308nm准分子激光激射，脉冲能量530mJ，最小脉冲宽度13ns，矩形光斑2cm×1cm，束散角3mrad，最高重复频率5Hz，并总结了实验规律。

关键词：激光技术 准分子激光 纳秒放电 预电离 辉光放电 

单位：西安交通大学理学院; 西安交通大学生物医学工程所; 陕西西安710049; 西北工业大学应用物理系; 陕西西安710072