摘要：利用Cu离子交换技术制备了BK7玻璃平面光波导，在632．8nm波长下。用棱镜耦合技术测量出所制备波导的有效折射率，利用反WKB方法计算并确定了平面光波导的折射率分布，通过对折射率分布进行函数拟合，发现离子交换后的样品折射率分布近似符合改进后的高斯分布，样品的折射率分布似乎是一个掩埋波导的折射率分布，求出所制备玻璃平面光波导在570℃的扩散系数De≈1．2133×10^-14m^2／s。同时，对所制备波导进行了电子显微镜(EMS)和次级离子质谱(SIMS)测试，得到了铜离子在玻璃表面的浓度分布，从而证明了实验所得到的BK7玻璃平面光波导是掩埋波导。这种掩埋平面波导是由单步Cu离子交换技术得到的。

关键词：集成光学 cu离子交换 单步掩埋光波导 bk7玻璃 

单位：中国科学院长春光学精密机械及物理研究所应用光学国家重点实验室; 吉林长春130031; 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点实验室; 吉林长春130023; IFAC—CNR; ViaPanciatichi64; Firenze; Italy