摘要：从半导体激光器的光参数积出发，给出了一种集光束准直、整形、聚焦及耦合的高功率半导体激光器阵列光束的光纤耦合方法。推导出了正交的两组准直微透镜阵列的面形公式；计算了准直光束的准直精度和聚焦光学系统参数。作为例子，给出一个光纤芯径为800μm，数值孔径0．37的光纤耦合高功率半导体激光器实验结果．其耦合效率大于53％。

关键词：激光技术 半导体激光器阵列 微透镜阵列 光束准直 光纤耦合 

单位：中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室; 四川成都610209