摘要：用反射率对比度来衡量晶化程度，分别探讨了脉宽为500ms，100ms，60ms的蓝绿激光(514nm)作用下沉积态Ag11In12Sb51Te26相变薄膜的晶化性能，表明Ag11In12Sb51Te26相变薄膜在蓝绿激光下可具有较高的晶化速度。对比分析了热致晶化后的Ag11In12Sb51Te26薄膜在514nm处的反射率对比度，结果表明激光晶化和热致晶化后薄膜的反射率对比度有明显差别，分别为8％和19．2％。

关键词：薄膜 相变薄膜 蓝绿激光 ag11in12sb51te26 晶化 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所高密度光存储实验室; 上海201800