摘要:以硅酸四乙酯(TEOS)和甲基三乙氧基硅烷(MTEOS)为前驱材料,用溶胶-凝胶(sol-gel)方法在钛宝石表面制备得到均匀性良好且具有高激光损伤阈值的有机硅复合凝胶增透膜.膜层在钛宝石激光器输出波段(750~850nm)的增透效果显著,其平均透过率超过98.6%;激光破坏阈值为2.2 J/cm2(800 nm,300 ps);膜层表面均匀性达到激光波面的要求,在皮秒、飞秒超短脉冲高功率激光领域具有应用价值.溶胶的性能测试结果表明,溶胶粘度和成膜折射率均随溶液中CH3SiO15溶胶体含量的增加而增大,而膜层折射率受烘烤温度影响较小.
关键词:薄膜 溶胶凝胶方法 激光破坏阈值 增透膜 钛宝石
单位:中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理国家实验室; 上海; 201800
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