摘要：研究了Ta2O5/SiO2硬膜双腔干涉滤光片带内、带边及带外的吸收和激光损伤特性.实验发现,对于作用激光,带通滤光片的驻波场分布、吸收率和损伤阈值在带内、带边和带外的响应特性对作用激光波长均呈现出明显的选择性.根据实验结果,结合滤光片的驻波场分析,给出了带通滤光片的损伤机理.

关键词：薄膜 损伤阈值 干涉滤光片 弱吸收 激光损伤机理 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜中心; 上海; 201800