摘要：通过对主膜系添加匹配层并借助计算机对膜系进行优化,设计出结构规整、性能优良的1064 nm倍频波长分离膜.用电子束蒸发及光电极值监控技术在K9玻璃基底上沉积薄膜,将样品置于空气中在260℃温度下进行3 h热退火处理.然后用Lambda 900分光光度计测量了样品的光谱性能;用表面热透镜(STL)技术测量了样品的弱吸收值;用调Q脉冲激光装置测试了样品的抗激光损伤阈值(LIDT).实验结果发现,样品的实验光谱性能与理论光谱性能有很好的一致性,退火前后其光谱性能几乎没有发生温漂,说明薄膜的温度稳定性好;同时退火使样品的弱吸收减小,从而其激光损伤阈值提高.理论和实验结果均表明,对主膜系添加匹配层的方法是1064 nm倍频波长分离膜设计的较好方法.

关键词：薄膜 倍频波长分离膜 弱吸收 激光损伤阈值 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研发中心; 上海; 201800; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研发中心; 上海; 201800