摘要：采用激光微细熔覆柔性直写技术在陶瓷基板上制备厚膜电阻.该技术的优点是精度高、速度快、不需要制作掩模板等.大量研究结果表明,搭接量的改变对电阻的组织性能影响很大,而组织性能对最终整个器件的质量起决定作用.因此,获得最佳搭接量制备出性能优良的电阻元件成为重要的研究课题.针对陶瓷基板,系统地研究了搭接量对厚膜电阻的组织性能的影响规律,获得了形成电阻膜的最佳搭接量为单道扫描光斑直径的3/5,并对影响组织性能的主要机理进行了分析.

关键词：激光技术 搭接量 激光微细熔覆 柔性直写 厚膜电阻 

单位：华中科技大学激光加工国家工程研究中心; 湖北武汉430074