摘要：提出了一种共光路外差干涉测量模拟磁头磁盘静态间隙的方法,该方法以低频差横向塞曼双频激光器作为光源,采用专门设计的双折射透镜分光和相位测量技术,实现了对光波半波长的3600细分,从而使测量分辨率达到0.1 nm.原理实验结果表明,该系统在无恒温的普通实验室条件下,1 h内稳定测量实验结果漂移小于4 nm;利用压电陶瓷(PZT)微动工作台(步进分辨率1 nm)驱动反射镜(模拟磁头)产生位移,在1μm范围内与该系统测量结果进行比对,得到线性相关系数优于0.9998.

关键词：测量 外差干涉 共光路 相位测量 磁头磁盘 

单位：清华大学摩擦学国家重点实验室; 北京; 100084; 清华大学精密仪器与机械学系; 北京; 100084; 清华大学精密仪器与机械学系; 北京; 100084; 清华大学摩擦学国家重点实验室; 北京; 100084