摘要：采用飞秒激光加工制作周期性极化铌酸锂(PPLN).实验中利用飞秒激光加工机的高精密加工的特性,在晶体+Z面刻划出周期性条纹,条纹周期以及深宽比可调,并加均匀的高压电场,通过改变晶体表面形状来影响晶体内部电场分布.实验观察到沿飞秒激光刻划方向有明显的极化现象,以及加工参量对极化反转的影响.该方案比纳秒激光刻划精度高,影响区小,可以做到更高深宽比且保持刻槽规则的形状.直接用激光刻划,无需掩模和光刻工艺,具有较大的灵活性,作为改进制作周期性极化铌酸锂的可选方案,更适合做各种新型器件.

关键词：非线性光学 周期极化铌酸锂 飞秒激光微加工 极化反转 

单位：天津大学精密仪器与光电子学院教育部光电信息技术科学重点实验室; 天津; 300072