摘要：对对径测量传感器的校准方法进行分析和研究，指出了当前手工校准方法存在的弊端和精度低的原因。提出了采用激光干涉仪进行对径测量传感器校准的新构想，实现了被测量到光程差的转化，设计了相应的差动校准测量光路，有效地消除了阿贝误差的影响，校准精度从原来的2．0μm提高到0．14μm，同时可得到被测传感器完整的校准曲线，实现了对径测量传感器的高精度、连续化、全自动校准。

关键词：仪器 传感器 校准 激光干涉仪 差动光路 

单位：武汉大学电子信息学院; 湖北武汉430079; 中国华阴兵器试验中心; 陕西华阴714200