摘要：根据固体激光器抽运的技术要求，设计了一种具有水冷装置的大功率半导体激光器二维阵列模块，并对半导体激光器热沉和致冷系统的热流进行了分析。在不同占空比下，对该模块进行了测试与分析。该模块的中心波长为810nm，光谱半峰全宽（FWHM）为2．5nm，工作电流为110A（200μs，10％占空比），循环水温为15℃时输出峰值功率为280W。结果表明，该封装结构在占空比小于5％时器件工作特性良好，在10％占空比F也可正常工作。利用该模块可以组合成多种几何结构、功率更高的半导体激光器组件。

关键词：激光器 半导体激光器 二维阵列 冷却系统 高功率 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所; 上海201800