摘要：采用简单的有机一无机混合的溶胶一凝胶方法制备了折射率在一定范围内可调的波导材料，并利用其制备了平面波导环形谐振腔器件。波导结构呈现倒脊形，其制备工艺首先是利用感应耦合等离子体刻蚀技术（ICP）在二氧化硅衬底上刻蚀波导结构的凹槽，然后再沉积波导薄膜。利用光谱仪对器件的传输特性进行了测量，观测到具有10dB对比度，自由光谱范围0．182nm周期性谐振现象，结合环形谐振腔的传输特性，得到环形腔具有较低的传输损耗1．7dB／cm。同时对环形谐振腔的温度特性进行了测量，得出波导材料的热光系数为-1．54×10^-4／℃。

关键词：集成光学 环形谐振腔 热光系数 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所; 上海201800