摘要：按照国际标准ISO 11551研制了用于测量光学薄膜微弱吸收的激光量热装置。典型情况下吸收测量灵敏度优于10^-6，测量误差估计为10％左右。在1064nm波长测量1mm厚石英玻璃基板的绝对吸收为3．4×10^-6，测量灵敏度达到1．5×10^-7测量了不同膜层设计、不同使用角度、不同镀膜技术镀制的全介质高反膜样品；使用离子束溅射（IBS）技术镀制的Ta2O5／SiO2多层O°反射镜的吸收仅为1．08×10^-5，而使用离子束辅助沉积（1AD）技术镀制的HfO2／SiO2多层45°反射镜的吸收测量值为6．83×10^-5。

关键词：测量技术 微弱吸收 激光量热法 光学薄膜 

单位：中国科学院光电技术研究所; 四川成都610041; 汉诺威激光中心; 德国汉诺威30419