摘要：为了检测全息光栅掩模槽形，运用严格耦合波理论（RCWT）分析镀铬基片光栅光刻胶掩模反射0级衍射效率光谱曲线与槽形参量的关系。测量了400～700nm波长范围内60°入射角条件下的镀铬基片全息光栅光刻胶掩模反射0级衍射效率光谱曲线。将实验曲线与不同槽形参数对应理论曲线相减、求标准差进行匹配，标准差最小者为匹配结果，从而找到被测掩模的槽深和占宽比（光栅齿宽占光栅周期的百分比）。结果表明，该方法图形匹配速度快，误差容限大，匹配结果与电镜结果相符。对于要求同时检测矩形或接近矩形槽形的全息光刻胶光栅掩模的槽深和占宽比，该方法完全适用。

关键词：衍射与光栅 全息光栅掩模 光谱检测 槽深 占宽比 

单位：苏州大学信息光学工程研究所; 江苏苏州215006