摘要：建立一个能分析拼接光栅的拼接误差效应的数学模型。利用傅里叶光学方法，分析横截面为圆的啁啾高斯光束通过失调的拼接光栅对压缩池（每个压缩光栅都由四个子光栅拼接而成）以及理想透镜的物理过程，得到焦平面上光场的积分表达式（对于光束口径）。利用该模型通过数值模拟详细分析了几种误差对于焦斑强度分布的影响。结果表明，在要求远场焦斑的施特雷尔比大于0．9的条件下系统的各种拼接误差需要满足：横向平移型误差｜△x-nd｜〈d／8，纵向平移型误差△z〈0．1μm，刻线宽度误差△d〈2．1×10^-7d，旋转误差△ε〈0．18／μrad（其中n为正整数，d为光栅的刻线宽度）。

关键词：衍射光学 误差容际 傅里叶光学 拼接光栅对压缩池 相干叠加 

单位：清华大学工程物理系; 北京100084; 中国工程物理研究院激光聚变中心; 四川绵阳621900