摘要：提出了一种同时测量强吸收衬底上薄膜厚度和折射率的方法。对生长于强吸收衬底上的透明薄膜，提出在该薄膜上镀一层薄金属，形成金属一薄膜一强吸收衬底的类波导结构。由于小角度入射光在强吸收衬底上具有较强的反射率，使该结构可容纳一系列共振模。利用自由空间耦合技术和导出的共振模模式本征方程，同时确定透明薄膜的厚度和折射率。实验中测量了硅衬底上制备的聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）薄膜的折射率和厚度，测量的相对误差均小于10^-3该方法具有简便、可靠、可测量任意折射率薄膜的优点。

关键词：薄膜 膜厚 折射率 类波导结构 强吸收衬底 

单位：上海交通大学物理系; 上海200240