摘要：提出了一种新型侧面滑闪放电技术，为TECO2激光器均匀放电提供高效、均匀的紫外预电离。采用这种技术，成功实现5．5cm电极间距的高气压CO2均匀放电，放电截面达27．5cm^2。放电体积为5．5cm×5cm×90cm的单元模块采用V（CO2）：V（N2）：y（He）=1：1：4的混合气体在60kPa的气压下，获得了53J的激光脉冲输出，激光比输出能量达3．46×10^-4J／（L·Pa）。采用简单的谐振腔，利用两个相同的单元模块串联实现了103JN激光输出。实验表明双模块器件存在很强的激光脉冲能量增强效应，双模块串联输出的激光能量比单模块激光能量的两倍还大15％。

关键词：激光技术 滑闪放电 紫外预电离 te co2激光器 

单位：中国科学院电子学研究所; 北京100080