摘要：为了准确测量透射平行平板，提出了单幅三表面干涉条纹空域傅里叶分析法，根据三表面干涉条纹频谱的旁瓣位置及峰值不同，分别提取平板前、后表面的面形及厚度变化等信息。通过与相移法（PSI）对比实验发现，该方法测量准确且重复性高。分析了两种方法各自的主要误差并量化：相移法中平板后表面反射光对前表面测量的影响；傅里叶分析法中的边界效应，离轴像差和平板材料均匀性引人的测量误差。

关键词：测量 干涉测量 傅里叶分析 多表面干涉条纹 平行平板 

单位：成都精密光学工程研究中心; 四川成都610041