摘要：报道了一种声光调Q激光二极管抽运Nd：YVO4晶体腔外五倍频213nm深紫外全固态激光器。实验上分别利用KTP和两块BBO晶体产生532nm倍频绿光，266nm紫外四倍频以及基波与四倍频的混频，实现了从Nd：YVO4近红外激光到213nm深紫外激光的频率变换。在10．3W抽运功率下，获得平均输出功率3．1mW，脉宽7．5ns的213nm深紫外激光输出。

关键词：激光技术 深紫外激光器 bbo晶体 五倍频 激光二极管抽运 

单位：山东师范大学物理与电子科学学院; 山东济南250014; 山东大学晶体材料国家重点实验室; 山东济南250100